常用的真空泵為旋片式真空泵，它主要由泵體和偏心轉 子 組成。經過精密加工的偏心轉子下面安裝有帶彈簧的濟片，由電機帶動，偏心轉子緊貼泵腔壁旋轉。滑片靠彈簧的壓力也賢貼泵腔壁。滑片在泵腔中連續運轉，使泵腔被滑片分咸的兩個不同的客積呈周期性的擴大和縮小。氣體從進氣嘴進入，被壓縮后經過排氣閥排出泵體外。如此循環往復，將系統內的壓力減小。